摘要
采用光刻离子交换法制作六角形孔径的高填充率梯度折射率(GRIN)平面微透镜阵列可有六角形和圆形两种开孔方式。通过设计两种孔径的六角形排列模板,采用光刻离子交换法并分时段取样,分别对形成高填充率GRIN平面微透镜阵列的两种开孔方式的离子扩散特性进行测试和分析,得到了这两种开孔方式在r方向和z方向的离子扩散和开孔表面凸起的特性,为制作不同孔径大小与开孔间距的高填充率GRIN平面微透镜阵列提供了工艺和理论参考。
There are two types of apertures, hexagonal and circular, to fabricate planar GRIN microlens arrays with hexagonal aperture and high fill factor by ion-exchange and photolithography. By the designed photomasks of hexagonal and circular aperture, ion-exchange, photolithography and time sampling, the characteristics of iondiffusion during fabricating the two types of planar GRIN microlens arrays with high fill factor are tested and analyzed. Then we obtain the features of ion-diffusion in such two types of apertures, which are helpful to fabricate planar GRIN microlens arrays with high fill factor when the aperture size and aperture spacing are given.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期140-145,共6页
Acta Optica Sinica
基金
国家自然科学基金(60978046)
中央高校基本科研业务费专项基金(XDJK2011C044)
西南大学博士基金(SWU111023)资助课题
关键词
集成光学
平面微透镜阵列
离子扩散
填充率
六角形孔径
integrated optics
planar microlens array
ion-diffusion
fill-factor
hexagonal aperture
