GaAs和InP基HFET工艺中的选择腐蚀技术(续)
被引量：2
The Selective Etching Technology in GaAs-Based and InP-Based HFET
出处
《半导体情报》
2000年第5期5-11,共7页
Semiconductor Information
关键词
砷化镓
INP
HFET
腐蚀技术
Dry etching Wet etching Selective etching Technology of HFET
同被引文献4
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