摘要
采用磁控溅射技术在玻璃基底上制备出了ZnO/Cu/ZnO、ZnO/Cu、ZnO单层三种透明导电薄膜,利用几种表征手段分析了Cu层位置对ZnO薄膜的结构形貌、光电性能的影响。结果表明,Cu层的加入会降低薄膜的透射率和提高导电性,其中ZnO/Cu/ZnO结构的透射率略高,ZnO/Cu结构的电阻率最低。
出处
《黑龙江科技信息》
2013年第11期30-30,共1页
Heilongjiang Science and Technology Information
基金
牡丹江市科学技术计划项目(Z2012g0004)
牡丹江师范学院科研项目(QZ201215)
牡丹江师范学院科研项目(QZ201217)(QY201105)
牡丹江师范学院大学生创新创业训练计划项目(MSY12XCax037)
