摘要
介绍一种高精度的、采用 PID控制原理的温度控制器 ,给出了实验结果。这种控制器适用于小功率半导体器件的工作温度控制 ,其控制精度可达± 0 .0 5℃。
A high precision temperature controller based on PID control principle is described The controller is adaptable to control low power semiconductor devices with precision of +/-0.05℃
关键词
比例积分微分控制
温度控制器
半导体器件
PID control thermal coupler cooler VCCS(Voltage Controlled Current Source)
