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纳米薄膜和涂层的制备以及在绿色技术领域应用(一)

Preparation and Application in Clean Technologies of Nanostructured Thin Film and Coating(1)
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摘要 纳米结构薄膜和涂层在绿色技术领域的重要性与日俱增。本文讨论了它们的主要制备方法以及其在绿色技术领域(如太阳能利用和提高能源使用效率)里的潜在应用。着重介绍了真空或等离子体环境中的制膜技术,也包括了一些其他方面的工艺。工业化大规模沉积法生产薄膜的方法也进行了详细的讨论,并且对其未来的发展做出了展望。 Nanostructured thin films and coatings are increasing importance to clean technologies. This re- view presents their primary preparation methodologies and potential applications in clean technologies, such as solar energy and energy efficiency. Techniques involving vacuumplasma-based environments (e- vaporation and sputtering in particular) are highlighted as well as a broad range of other approaches being exhibited. Detailed discussion on large-scale deposition is also included, and perspectives are provided on possible future developments.
作者 李望达
出处 《热处理技术与装备》 2013年第2期1-5,共5页 Heat Treatment Technology and Equipment
关键词 薄膜 涂层 沉积 绿色技术 纳米结构 thin film coating deposition clean technologies nanostructure
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