摘要
单晶硅生产中氩气回收纯化装置
摘要：一种单晶硅生产中氩气回收纯化装置，该装置包括：一用于对从单晶炉中收集的氩气进行粗油过滤的粗油过滤器；在所述粗油过滤器之后依次相连有氩气压缩机和一水冷却器，并在其后相连有可除去氩气中油雾和固体颗粒高精度除油系统；一依次通过加热器和回热器相接于所述高精度除油系统的一级催化反应器以及通过所述回热器相接于所述一级催化反应器的二级催化反应器；
出处
《低温与特气》
CAS
2013年第2期53-53,共1页
Low Temperature and Specialty Gases
