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日立化成开发出可蚀刻SiN的浆料,用于太阳能电池等领域
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摘要
日立化成开发出了可蚀刻氮化硅(SiN)的浆料,并在第12届国际纳米技术综合展上展出。只要利用丝网印刷工艺使该浆料成形,便可只去除浆料下面的SiN。日立化成的目标是将这种浆料用于太阳能电池及MEMS制造工序等。
出处
《功能材料信息》
2013年第1期60-60,共1页
Functional Materials Information
关键词
太阳能电池
SIN
浆料
日立
蚀刻
开发
丝网印刷工艺
技术综合
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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