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美国国家标准与技术研究院(NIST)研究动态

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摘要 NIST为了测量纳米级的比热容量，研究出用光学、电子技术检测和加热双层微悬臂梁（Pt—SiNx）的新方法。该方法中双层微悬臂梁同时起加热器、温度传感器和质量传感器（0．01ng分辨力）的作用，通过对沉积铝纳米粒子熔点和比热容的测量，证实系统可以对0．72ng的质量进行校准。

作者楚颖

出处《中国计量》 2013年第5期55-55,共1页 China Metrology

关键词美国国家标准与技术研究院质量传感器微悬臂梁温度传感器 NIST 技术检测纳米粒子加热器

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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中国计量

2013年第5期

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