摘要
微系统是在微米/纳米尺度上开展研究工作的,涉及到多种科学和技术领域,含微电子、微机械、微光学、化学、生物技术和材料等,它是多种技术的综合和多学科交叉的前沿领域,已显示出强大的生命力。微系统研究在传统理论和技术基础上起步和发展,人们在硅片上制作微型机械、微马达和光路系统微型化的惊喜之余,又引起了一些困惑和思考。人们必将冲破传统科学技术和思想,通过科研有所创新和突破,不断开拓进取,真正成为高新技术的生长点和面向市场新的经济增长点,开创21世纪新兴产业,这是当前迫切需要研究的课题。现在,微系统研究的热点是:微域的科学和技术基础;新的信息获取、传输和处理技术;超精密检测和操作;微系统新材料和微制造技术。
The microsystems research and development extends into various fields including the micro electronic,micro machine,micro optics,chemistry,biotechnology and materials,making it a multidisciplinary technology integrating various technologies and knowledges. When considering potential uses in future,microsystems technologies are still at the elementary stage.Research today is mainly centered on fundamental technologies common to various microsystems. May be the focus of the microsystems research and development as followings:science and technology at the microdomain,new signal sensing, transmission and processing technique,nanometer measurement and operation,new microsystem materials,microfabrication technique. [
出处
《中国工程科学》
2000年第1期80-84,共5页
Strategic Study of CAE
基金
国家自然科学基金!(698360 50 )
关键词
微系统
微域
信息获取
微电子学
纳米材料
microsystems
microdomain
sensing and processing
nanometer measurement
new materials
microfabrication
