惯性技术之窗：微型惯性装置研发溯源微机电系统的发展

导出

摘要 1987年，美国加州大学伯克利分校的研究人员，在集成电路工艺的基础上，研制成功世界上第一台静电微马达。这种创新的微马达初步显示了硅微加工工艺制造微小可动结构，和与集成电路兼容的能力。1988年又出现了两篇有关微机电系统发展的著名文章。一篇是W·S·N·特里默（W·S·N·Trimmer）的“微机器人和微机械系统”，讨论当尺寸进入微范畴后与宏观世界不同的物理现象的变化，

作者木子

出处《海陆空天惯性世界》 2013年第6期151-152,共2页 NAAS & Inertial Technology

关键词微机电系统惯性技术集成电路工艺研发装置微型美国加州大学宏观世界

分类号 TH-39 [机械工程]

引文网络
相关文献

1手机显微镜研制成功[J].生物医学工程学进展,2009,30(3):156-156.
2木子.惯性技术之窗：微型惯性装置研发溯源[J].海陆空天惯性世界,2013(1):151-152.
3孙永杰.面向21世纪的微型机电系统[J].百科知识,1997,0(3):17-18.
4李林鑫,陈丽,任小鸿.旋转夹紧液压装置研发[J].装备制造与教育,2015,29(4):39-41.
5曾桂林.光纤陀螺技术发展及军需分析[J].应用光学,2001,22(1):1-4. 被引量：13
6秦永元.国际惯性器件发展现状和趋势[J].航空制造技术,2008,51(9):68-69. 被引量：7
7潘琳,罗倩,陈振宇.显微镜下的奇妙世界[J].少年科学,2011(4):46-48.
8美科学家造出光学“隐身斗篷”[J].激光与光电子学进展,2009,46(6):10-10.
9世界上最小的显微镜[J].中学生天地（高中综合版）（B版）,2010(7):75-75.
10位梦华.眼睛·大脑·宇宙[J].现代阅读,2016,0(6):90-90.

海陆空天惯性世界

2013年第6期

浏览历史

内容加载中请稍等...

惯性技术之窗：微型惯性装置研发溯源微机电系统的发展

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

惯性技术之窗： 微型惯性装置研发溯源 微机电系统的发展

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

惯性技术之窗：微型惯性装置研发溯源微机电系统的发展