摘要
对PDMS微流控芯片的制作流程、封装方法和结构特征进行了探讨,并提出了相应的解决方案。
In the paper we discuss the production process, packaging method and structure characteristics of PDMS microfluidic chip, and put forward the corresponding solution.
出处
《长春工业大学学报》
CAS
2013年第2期172-179,共8页
Journal of Changchun University of Technology
关键词
微流控芯片
聚二甲基硅氧烷
微加工
microfluidic chip
poly two methyl siloxane
micro machining.