直拉式单晶硅生长炉的关键技术探讨

我国在直拉式单晶硅生长炉的设计和生产上还是缺乏一定的经验,从当前所使用的生长情况来看,基本都是向国外一些先进国家采购。本文通过对直拉式单晶硅进行简单介绍后,对直拉式单晶硅的两大关键技术——全自动控制系统和热场进行分析,从而希望能够为我国开发全自动的直拉式单晶硅做出一点理论参考。