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华润上华第三代超高压700V BCD系列工艺开发成功

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摘要华润微电子有限公司旗下的华润上华科技有限公司（华润上华）近日宣布其第三代超高压700VBCD系列工艺开放代工平台开发成功。该工艺平台自华润上华第二代硅基700VBCD工艺基础上自主开发而来。通过工艺技术的持续改进，该工艺不仅控制电路部分的设计规则比第二代硅基700VBCD工艺缩小15％，

出处《中国集成电路》 2013年第6期2-2,共1页 China lntegrated Circuit

关键词工艺开发 CD系列超高压第三代 BCD工艺平台开发设计规则电路部分

分类号 TN624 [电子电信—电路与系统]

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中国集成电路

2013年第6期

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