46-04吸气剂提纯氩气的实验与应用

目前,在气体提纯、真空技术、电光源、能源、化工、仪表、食品等许多行业,广泛应用吸气技术和工艺。因此,研制吸气速率快、容量大、价格低、易于保存的金属吸气剂有很大意义。机电部第46研究所与北京半导体材料加工厂合作,研制成功46—04金属吸气剂。该吸气剂采用稀土合金与钛海绵按一定粒度及比例制成机械混合体,在常压和450～600℃工作温度下,可同时吸除氧、氮.一气化碳、二氧化碳、甲烷。