具有浸液管装置的鼓泡钢瓶

介绍了一种完全焊接的具有矩形底槽的不锈钢瓶,以及可把非常活泼的电子级金属有机化合物液体转移至汽相淀积系统的浸液管装置。该不锈钢瓶顶部开口,并有进、出气体膜片阀,钢瓶内部涂以百分之几毫米厚的氟涂料(PVD)。该钢瓶采用竖式结构。每一膜片阀只有很小的惰性区与液体接触,瓶内壁涂以涂料,可防止液体与钢瓶和浸液管的金属基体相接触而产生污染物,囚此,可消除液体中的杂质,或降至最少程度。