激光分子束外延氧化物薄膜机理研究被引量：6

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摘要实验结果表明外延结构复杂的氧化物薄膜 ,基片温度在 6 0 0～ 6 5 0℃条件下 ,其表面原胞层的扩散时间是几十秒到上百秒 .根据此特点 ,采用单原胞间歇式外延。

作者吕惠宾杨国桢陈凡赵彤周岳亮陈正豪

机构地区中国科学院物理研究所

出处《中国科学（A辑）》 CSCD 2000年第10期935-939,共5页 Science in China(Series A)

基金国家基础研究规划资助项目

关键词激光分子束外延氧化物薄膜薄膜物理

分类号 TN24 [电子电信—物理电子学]

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相关文献

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