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MOCVD材料生长重大装备项目

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摘要一、项目概况 MOCVD（Metal Organic Cheroical Vapor Deposition）材料生长装备，即金属有机物化学气相沉积设备，是化合物半导体外延材料研究和生产的关键设备，特别适合化物半导体功能结构材料的规模化生产，是其它半导体设备所无法替代的核心半导体装备，

出处《中国粉体工业》 2013年第1期65-65,共1页 China Powder Industry

关键词材料生长 MOCVD 装备化合物半导体规模化生产沉积设备金属有机物半导体设备

分类号 TN23 [电子电信—物理电子学]

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中国粉体工业

2013年第1期

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