摘要
采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段。以此为主线,在已有研究工作和生产经验的基础上,从原理上分析了四氯化硅氢化反应,总结了影响氢化转化率的主要因素,提出了合理化建议,为多晶硅的生产提供了有价值的参考。
The hydrogenation of silicon tetrachloride is a reasonable and effective way to deal with silicon tetra- chloride at present. The hydrogenation process is analyzed in principle, the main factors influencing hydrogenation are summarized, the reasonable suggestions are put forward, and the reference valuable are provided for the production of polysilicon.
基金
云南省国际科技合作专项
云南省产业重大关键技术开发专项
昆明冶研新材料股份有限公司科技项目(KMYY-C1301)
关键词
四氯化硅
氢化
三氯氢硅
多晶硅
silicon tetrachloride, hydrogenation, trichlorosilane, polycrystalline silicon
