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美开发厚度为单原子直径的半导体薄膜

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摘要 美国北卡州立大学研究人员表示,他们开发出制造高质量原子量级半导体薄膜(薄膜厚度仅为单原子直径)的新技术。材料科学和工程助理教授曹林友(音译)说,新技术能将现有半导体技术的规模缩小到原子量级,包括激光器、发光二极管和计算机芯片等。在新技术中,研究人员将硫粉和氯化钼粉放置于炉内,并将温度逐步升高到850℃,此时两种粉末出现蒸发(气化)并发生化学反应形成硫化钼。继续保持高温,硫化钼能沉积到基片上,形成薄薄的硫化钼膜。
出处 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期56-56,共1页 Electronic Components And Materials

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