IC生产中关键参数SPC管理方法的探究

随着IC产业日新月异的发展,IC产品的生产工艺也日益复杂化,如何做好这复杂工艺过程的SPC管理是一个非常值得探究的问题。文章以实际数据为例,用不同方法对IC生产中关键参数的SPC管理方法包括控制图的选用、控制界限及过程能力指数的计算方法等进行了分析和探究。