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六氟乙烷的制备及纯化方法概述 被引量：5

Method For Producing And Purifying Hexafluoroethane
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摘要 六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。 Hexafluoroethane is used as a cleaning or etching gas for semiconductors.The present paper describes several methods for producing and purifying hexafluoroethane.
作者 杜汉盛
机构地区 佛山市华特气体有限公司
出处 《低温与特气》 CAS 2013年第3期1-4,共4页 Low Temperature and Specialty Gases
关键词 六氟乙烷 制备 纯化 HFCS 含氯化合物 hexafluoroethane produce purify HFCs chlorine compounds
分类号 TQ222.23 [化学工程—有机化工]
  • 相关文献

参考文献10

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共引文献7

同被引文献23

引证文献5

二级引证文献4

低温与特气
2013年 第3期

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