透射电子显微镜在微纳米电子学的应用

1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜（TEM），电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短，目前TEM的分辨力可达0．2nm。