基于F-P腔动态微位移实时测量系统的研究

主要针对机械零件表面微位移及热膨胀系数方面的研究,采用光学法布里-珀罗(F-P)腔进行精准的测量,光路实现容易,设计的系统性能可靠、测量精度较高和光学干涉系统误差较小,使用宽带光源或可调激光器发出的连续光谱进行测量,理论精度可达到纳米量级。该实时监测系统可用来进行物体表面微位移和未知材料的热膨胀系数的测量及精密机械加工中,解决了测试数据对应微位移非线性及偏转的实时监测问题,具有实际的应用价值。