2013年海峡两岸平坦化技术研讨会在河北工业大学举行

为促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作，由中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的2013年海峡两岸平坦化技术研讨会于2013年5月16一培日在天津举行。来自海峡两岸的化学机械平坦化以及其他微纳制造相关领域的近80位专家学者参加了此次研讨会。清华大学摩擦学国家重点实验室主任、摩擦学分会常务理事雒建斌院士，中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士，河北工业大学校长展永，华侨大学副校长徐西鹏教授，微纳制造摩擦学专业委员会主任委员、ICPT（平坦化技术国际会议）执委、清华大学路新春教授，河北工业大学微电子技术与材料研究所所长刘玉岭教授，ICPT执委、复旦大学屈新萍教授以及台湾平坦化协会理事长、台湾科技大学陈熠彰教授出席了研讨会。