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Si50x新型高可靠性MEMS振荡器 美国芯科实验室 被引量:1

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摘要 新型高可靠性Si50xMEMS振荡器利用SiliconLabs专利的CMEMS。技术,可确保在10年以上工作寿命中具有稳定的温度和抗老化性能。基于可靠供应链的短交付周期、标准装配和CMOS大规模生产线工艺和质量,这些新型的基于MEMS的硅振荡器容易配置、向下兼容且已经量产就绪。
出处 《传感器世界》 2013年第7期49-49,共1页 Sensor World
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