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高纯水与紫外线杀菌技术
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摘要
紫外线杀菌装置在电子工业高纯水制造工艺中得到广泛应用。本文对紫外线杀菌原理、杀菌效果的影响因素、杀菌装置的构造等方面进行了讨论,并介绍了近年来开发的箱内浸水式杀菌装置。
作者
沈健
机构地区
中国电子工程设计院
出处
《电子信息(印制电路与贴装)》
2000年第10期63-65,78,共4页
关键词
电子工厂
高纯水
紫外线杀菌技术
分类号
TN082 [电子电信—物理电子学]
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电子信息(印制电路与贴装)
2000年 第10期
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