AES测薄膜厚度的误差分析与修正被引量：1

The error analysis and correct of measuring film thickness with aes

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摘要本文介绍了AES测薄膜厚度的原理和方法,分析了测试过程中的各种误差,并探讨了各种误差的修正方法。 The paper introduce the principle and method of measuring film thickness with AES. The various errors in measuring are analyzed. And the correcting methods of the various errors are discussed.

作者盛国裕

机构地区中国计量学院机电工程教研室

出处《现代仪器》 2000年第5期44-45,38,共3页 Modern Instruments

关键词薄膜 AES 厚度测量误差分析误差修正 Film Thickness Error

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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