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应用材料新检测设备支持10nm
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职称材料
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摘要
应用材料宣布推出新世代的缺陷检测及分类技术,加速达成10nm及以下的顶尖芯片生产良率。SEMVisionG6系统独特的多维影像分析功能为半导体制造提供最高分辨率及影像质量,先进的系统设计与全自主式功能,能提高100%更快速的产出。
出处
《中国集成电路》
2013年第8期7-7,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
检测设备
材料
应用
最高分辨率
半导体制造
分类技术
缺陷检测
芯片生产
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
2013年 第8期
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