有关半导体制造中钯的运用:用于铜上的无电镀镍沉积物的钯催化剂
摘要
1 引言
钯（Pd）是一种稀有的带光泽的银白金属，是铂族金属（PGM）中的一种元素，同时也是一种贵重金属，作为有害气体的催化转化器已得到广泛运用，例如将废气系统中的碳氢化合物快速转化成水和二氧化碳。钯还具有十分明显的催化特性，被运用于化学湿式转化中的各种应用中。在对钯进行了越来越多的研究后，科学家发现。
出处
《中国集成电路》
2013年第8期58-62,共5页
China lntegrated Circuit
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