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Edwards成为450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的创始成员

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摘要 2013年7月9日,精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商Edwards集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成,旨在组建450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的工作组。这是全球450联盟(G450C)的一个分小组,其建立是为了解决下一代450mm半导体晶圆制造设施的复杂开发和基础设施要求。
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期640-640,共1页 Semiconductor Technology

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