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Edwards成为450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的创始成员
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摘要
2013年7月9日,精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商Edwards集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成,旨在组建450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的工作组。这是全球450联盟(G450C)的一个分小组,其建立是为了解决下一代450mm半导体晶圆制造设施的复杂开发和基础设施要求。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期640-640,共1页
Semiconductor Technology
关键词
晶圆制造
制造设备
联盟
半导体设备
尾气处理系统
基础设施
增值服务
供应商
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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0
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0
1
EDWARDS成为450 mm晶圆制造设备联盟(F450C)的创始成员[J]
.电子工业专用设备,2013(7):65-65.
2
Edwards新型大容量涡轮分子真空泵最大化提升性能[J]
.电子工业专用设备,2014,43(2):69-70.
3
联想取代IBM成为蓝牙技术联盟七大董事之一[J]
.信息技术与标准化,2006(11):27-27.
4
于光媚.
蓝牙技术联盟拓展智能应用[J]
.通信世界,2012(24):40-40.
被引量:1
5
EDWARDS将在2014SEMICON^R CHINA展会上展示世界领先的真空设备和尾气处理系统[J]
.半导体技术,2014,39(4):315-315.
6
新型大容量涡轮分子真空泵[J]
.办公自动化(综合月刊),2014(4):19-19.
7
EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准[J]
.电子工业专用设备,2013(7):65-66.
8
EDW ARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵[J]
.塑料制造,2012(9):60-60.
9
Edwards在中国青岛举行奠基仪式[J]
.中国集成电路,2013,22(7):16-16.
10
爱立信众多物联网解决方案亮相中国电信天翼终端博览会[J]
.电信网技术,2016(7):11-11.
半导体技术
2013年 第8期
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