对光波导微模具飞切加工工艺的研究

当前高精度的光波导微模具飞切加工工艺相当烦琐，光学元器件的微模具结构已经全面进入应用阶段。在这样条件下，提出了光波导微模具飞切加工工艺的方法。高精度飞切加工工艺系统的模具材料是用硬铝来进行正交试验的。试验表明：对光波导微模具结构影响最大的是背吃刀量，主轴的旋转速率对微模具结构的影响也很大，进给量所给的影响就稍小了。再根据机床运作的稳定性和工作效率，最后确定了光波导微模具飞切加工工艺最适合的参数。这些参数为：背吃刀量为25微米，主轴的转动速率为每分钟800转，进给量为每分钟20毫米。然后再对工艺参数进行优化，最终确定微模具结构表面粗糙度是17．1纳米的波导微模具。