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真空的激光电离测量技术的研究与发展 被引量：2

R&D of Vacuum Measurement with Laser Photoionization
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摘要 介绍了激光电离方法在真空测量方面的应用 。 The latest progress of the vacuum measurement with laser photoionization was reviewed.Its technical advantages and its problems were discussed.
作者 叶志斌 齐京
机构地区 清华大学电子工程系
出处 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第5期363-365,369,共4页 Vacuum Science and Technology
关键词 激光电离 真空测量 有效电离体积 电离效率 Laser photoionization,Vacuum measurement,Effective ionization volume,Ionization efficiency
分类号 TB771 [一般工业技术—真空技术]
  • 相关文献

参考文献9

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  • 33，Yang S,Hill Ⅲ W T,Dixit S N.Multiphoton Dissociative Ionization of O2:Competition between Dissociation and Ionization in Excited States.J Chem Phys,1994,100(9):6434～6444
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  • 77，Kokubun K,Sekine S,Ichimura S et al.Pressure Measurement of 10-10 to 10-12 Pa by Nonresonant Multiphoton Ionization.Vacuum,1996,47(6～8):557～559
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  • 99，Sekine S,Iwasaki A,Kurokawa A et al.Simultaneous Measurement of Total and Partial Pressure and Ionization Volume by Laser Ionization Method.Vacuum,1996,47(6～8):553～555

同被引文献40

引证文献2

二级引证文献28

真空科学与技术
2000年 第5期

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