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晶圆制造中的自动化管理 被引量:1

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摘要 作为先进制造业的典型代表,晶圆制造具有三大特性:资金密集,技术密集,产品复杂。在此环境下,计算机集成制造广泛应用于MES、Dispatch、传送、品质管理等各个方面,并不断向前发展。
作者 陈征
出处 《中国高新技术企业》 2013年第17期68-69,共2页 China Hi-tech Enterprises
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