摘要
将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定。
参考文献6
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4冉铮惠,陈长龄,罗克莲.数字图像处理技术在平面等倾干涉测量中的应用[J].仪器仪表学报,2003,24(z1):56-58. 被引量：11
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5汤昌社,周建友,潘嘉声,胡润洪.根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨[J].计量学报,2008,29(4):305-308. 被引量：5
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6汤昌社,潘嘉声,周建友,胡润洪.基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置[J].中国测试技术,2008,34(2):16-17. 被引量：4
二级参考文献25
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