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一种单晶硅棒末段切割可调头的夹具

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摘要 介绍了一种用金刚石带锯切割单晶硅棒的夹具,特别是在切除单晶硅棒末段收尾部分,夹具可调头180°。阐述了其工作原理、夹具结构和实际应用。
作者 严斌成
出处 《机械工程师》 2013年第8期260-261,共2页 Mechanical Engineer
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参考文献1

  • 1康自卫,王丽.硅片加工技术[M].北京:化学工业出版社,2010.

共引文献3

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