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用电子束刻划椭圆微型菲涅耳透镜
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摘要
松下电器中央研究所开发成功用电子束刻划椭圆微型菲涅耳透镜的制作技术,按其象散特性,尝试了将以往由组合透镜构成的象散光学系统薄形化的试验。如获成功,即制成具有菲涅尔透镜的薄膜结构。
作者
侯印春
出处
《国外激光》
CSCD
1989年第1期24-25,共2页
关键词
电子束
菲涅耳透镜
椭园
微型
分类号
TQ171.734 [化学工程—玻璃工业]
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