多晶硅还原炉的雾化现象控制

针对在多晶硅还原炉的生产运行中,常有大量细硅粉生成,即雾化现象,进而影响产品品质的问题,进行了简要分析,并从硅棒温度、物料流量等6个主要方面介绍了控制措施,对还原炉的雾化控制、多晶硅产品品质的提升提供参考。