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激光在集成电路生产中的应用将迅速增长
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摘要
美国信息网络公司的一份报告说,用激光定制专用集成电路对半导体工业和计算机工业具有引人注目的影响。激光在集成电路生产中应用的战略问题和发展方向预测表明,激光将减少生产专用集成电路的费用,也可改变非重复工程的费用。
作者
季叶克
出处
《国外激光》
CSCD
1989年第6期36-37,共2页
关键词
集成电路
制造
激光
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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国外激光
1989年 第6期
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