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JSM-5600LV扫描电镜的保养及常见故障的排除 被引量:6

Maintenance and common trouble shooting of JSM-5600LV SEM
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摘要 以JSM-5600LV扫描电镜为例,阐述了钨灯丝扫描电镜日常维护保养的具体办法,简单介绍了扫描电镜常见故障的排除方法,强调了大型贵重仪器必须专人管理,以及管理者必须具有较强责任心和较高技术水平的重要性。 Based on JSM-5600 SEM,the daily maintenance of tungsten filament SEM was elaborated and the troubleshooting method was also briefly introduced in this article.It is emphasized that the large valuable instrument must be specially managed and the managers must be responsible and well skilled.
出处 《实验室科学》 2013年第4期180-182,共3页 Laboratory Science
关键词 扫描电镜 维护保养 故障排除 SEM maintenance trouble shooting
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二级参考文献8

共引文献27

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