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新的3D缺陷检测技术实现纳米级快速检测
被引量:
1
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摘要
设备制造技术所涉及的器件规模越来越小,有的不过就22nm,可复杂程度却越来越高,因此,缺陷对于器件性能的不利影响也越来越大,而缺陷检测也越来越难。美国国家标准技术研究院(NIST)下属的物理测量实验室(PML)已经找到一种能够快速且无损地生成3D图像的技术,从而实现了纳米级缺陷的快速检测。
作者
李莉萍
出处
《计测技术》
2013年第4期36-36,共1页
Metrology & Measurement Technology
关键词
缺陷检测
快速检测
检测技术
3D图像
纳米级
标准技术研究院
设备制造技术
器件性能
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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计测技术
2013年 第4期
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