双频激光干涉仪系统线性测量误差主要来源及减小误差的方法分析被引量：6

Method for Analysis of Dual Frequency Laser Interference Mainly Instrument System of Linear Measurement Error Sources and Error Reduction

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摘要双频激光干涉仪以激光波长为标准进行长度测量,在线性测长及角度测量等领域应用广泛,但不合理的使用将带来很大的测量误差,本文就测量误差的主要来源及如何有效减小误差进行分析研究。

作者徐建

机构地区成都市计量监督检定测试院

出处《计量与测试技术》 2013年第8期39-40,共2页 Metrology & Measurement Technique

关键词双频激光干涉仪误差来源影响程度减小误差方法

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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2曹利波.利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测[J].红外与激光工程,2008,37(S1):200-202. 被引量：19
3所睿,范志军,李岩,张书练.双频激光干涉仪技术现状与发展[J].激光与红外,2004,34(4):251-253. 被引量：50
4王碧波,岳金福,周泽兵,彭益武.基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统[J].纳米技术与精密工程,2005,3(2):137-141. 被引量：19
5汪洁.发挥双频激光干涉仪功能开出高质量的实验[J].实验室研究与探索,2005,24(10):79-80. 被引量：1
6刘君,穆海华,孙业业,周云飞.激光干涉测量中的误差分析与补偿[J].机床与液压,2006,34(9):181-184. 被引量：25
7程维明,葛轶君.精密定位中的激光干涉测量误差分析[J].上海工程技术大学学报,2006,20(4):287-290. 被引量：11
8齐乃明,陶家生,关英姿,王伟远.气浮导轨误差均化作用的探讨[J].哈尔滨工业大学学报,1997,29(1):61-63. 被引量：11
9袁琼雁,王向朝.国际主流光刻机研发的最新进展[J].激光与光电子学进展,2007,44(1):57-64. 被引量：39
10金施群,刘巧云,费业泰,刘永东.环境对双频激光干涉仪测量不确定度的影响[J].上海计量测试,1997,24(3):33-34. 被引量：2

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1周丹,杨光春,刘阔,贾舒媛.机床进给轴几何误差测试与分离技术[J].机械设计与研究,2014,30(4):82-84.
2陈琦,钟君.基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制[J].实验室研究与探索,2014,33(12):54-57. 被引量：1
3马敬,齐月静,卢增雄,苏佳妮,杨光华,齐威,张清洋,陈进新.光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计[J].中国激光,2019,46(7):211-217. 被引量：13
4丁彦侃,宋玉莲,蔡侃.激光干涉仪在测长机不确定度评定中的应用[J].计量与测试技术,2020,47(1):71-73. 被引量：2
5魏莉佳,张文涛,熊显名,杜浩,王献英.高精度平面光栅位移测量系统[J].激光杂志,2020,41(6):17-21. 被引量：2
6袁志扬,朱煜,成荣,张鸣,刘剑,仲凯.高精度平面光栅尺测量系统减振技术研究[J].北京理工大学学报,2021,41(5):494-500. 被引量：1

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2张一,余卿,张昆,程方,崔长彩.基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统[J].光学精密工程,2020,28(4):859-866. 被引量：13
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6刘扬,王毅,周红仙.基于低相干光干涉的相位成像实验系统[J].实验室研究与探索,2021,40(9):83-86. 被引量：1
7王佳怡,刘涛,唐晓锋,胡佳琪,王兴,李国卿,何韬,杨树明.光纤式色散共焦三维测量系统及算法比较研究[J].光子学报,2021,50(11):123-136. 被引量：8
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10邵谭彬,郭文平,席英皓,刘子聿,杨克成,夏珉.大量程光谱共焦位移传感器设计及性能评估[J].中国激光,2022,49(18):56-63. 被引量：9

1孙玉勤.高短隐基线发射机的设计分析与应用[J].电光系统,1994(4):1-7.
2张波,薛虹.环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究[J].微细加工技术,2007(5):5-9. 被引量：4
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4郭玲红,李亚立.单脉冲雷达距离和速度测量精度技术分析[J].航空兵器,2012,19(5):31-33. 被引量：3
5钟朝阳,侯文玫,句爱松,官志超.双频激光干涉仪的混频分析与研究[J].光学技术,2015,41(2):119-123. 被引量：2
6李天初,R.G.May,WangAnbo,R.O.Claus.绝对测量小距离的波长扫描-光纤双干涉仪系统(英文)[J].计量学报,1998,19(1):9-14. 被引量：4
7杨阳,周哲.分层空时码的译码性能仿真[J].中国传媒大学学报（自然科学版）,2010,17(4):74-77.
8张福安,谭敏.亚微米电子束曝光机工件台控制系统[J].电工电能新技术,1995,14(4):49-54.
9范志军,所睿,李岩,张书练.高测速双频激光干涉仪的若干关键问题研究[J].光电子．激光,2004,15(12):1419-1421. 被引量：6
10魏宝泉,田兴德,肖书新.一种检查和消除微机A／D、D／A通道数据误差方法的介绍[J].现代电视技术,1992(4):64-68.

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