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在极端环境中保护微电子机械系统的合金

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摘要新加坡A-Star微电子研究所的研究人员研发了一种合金，这种合金能在极端恶劣的环境中对微电子机械系统（MEMS）传感器实施更好的保护。

作者黄文梅(摘译)

出处《现代材料动态》 2013年第9期2-3,共2页 Information of Advanced Materials

关键词微电子机械系统极端环境合金保护电子研究所研究人员新加坡传感器

分类号 TH-39 [机械工程]

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现代材料动态

2013年第9期

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