BG-101J分步光刻机在四十五所研制成功

一种新型分步重复直接投影光刻机(DSW)——BG—101J分步光刻机最近在机电部第45研究所研制成功。北京半导体器件三厂对该机进行了考核验收,认为其主要技术指标全部达到设计要求。