GP-1硅片平整度测试仪的性能特征

本文介绍以作者提出的镜面莫尔轮廓法的原理设计制造的平整度测试仪,各种典型镜面的条纹形状及其特征,解释了硅片平整度误差的判读方法以及在全场能达到微米级精度的检测步骤。