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微细制版中的干法刻蚀技术研究
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摘要
本文简述了干法刻蚀在微细制版,特别是电子束制版中的重要性,较详尽地介绍了本研究所用的实验装置,刻触原理,工艺参数选择,实验结果及应用情况,并给出了一些典型的图表数据。
作者
江泽流
机构地区
石家庄机电部十三所
出处
《电子工艺技术》
1991年第5期11-14,共4页
Electronics Process Technology
关键词
微细加工
干法刻蚀
制板
分类号
TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子工艺技术
1991年 第5期
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