摘要
通过对液晶显示器制造过程中的关键工序——光刻胶涂布工艺、原理进行分析,对光刻胶涂布设备参数进行调整等,为生产LCD提高合格率提供参考。
Based on the key working procedure in the process of LCD m anufacture -photoresist coating process, principle analysis, adjust photoresist coating equipm ent param eters etc, provide reference for production im prove the qualified rate of LCD .
出处
《电子工业专用设备》
2013年第7期44-46,56,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
光刻胶
涂布
显示器
液晶
L ithography glue
C oating
D isplay
L iquid crystal
