摘要
联盟的成立是为了引导450m m 晶圆制造厂的建设和基础设施。
精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商E dw ards集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成,旨在组建450 m m 晶圆制造设备联盟(F450C )的工作组。这是全球450联盟(G 450C )的一个分小组,其建立是为了解决下一代450 m m 半导体晶圆制造设施的复杂开发和基础设施要求。
出处
《电子工业专用设备》
2013年第7期65-65,共1页
Equipment for Electronic Products Manufacturing