主杂波跟踪器用多层厚膜基板的研制

文章介绍了研制多层基板的工艺、材料、显微结构。分辨率小于0.2mm,贯穿孔面积达0.2mm×0.2mm,平均通孔堵塞率2%～3%,导体层数达4层,介质层数达3层。多层基板数最高可达10层,单层通孔可达382个。