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微机电系统的微波应用 被引量：5

MEMS and Its Application in Microwave Field
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摘要 介绍微机电系统 (MEMS)这一新兴技术及其在微波和毫米波领域的应用。给出几种典型部件示例。 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), a developing technology in the microw ave and millimeter wave field is introduced in this paper. Some typical illustra tions for the application are given also.
作者 林守远 顾墨琳
机构地区 南京电子技术研究所
出处 《微波学报》 CSCD 北大核心 2000年第4期415-422,共8页 Journal of Microwaves
关键词 微机电系统(微电-机械系统) MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)
分类号 TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献8

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引证文献5

二级引证文献31

微波学报
2000年 第4期

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