微切片技术在FPC失效分析中的应用（二）

许多FPC失效问题需要通过微切片分析技术来找到根本原因，本文主要介绍在FPC失效分析过程中，对25微米粒径左右的微米级切片目标，采用新的“双针定位”方式，实现高精度微切片制作的方法，以及运用此微切片方法完成FPC失效分析的4个典型实际案例。